基本結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

　　1.典型結(jié)構(gòu)

　　圓筒形設(shè)計(jì)：直徑300-1500mm，高度400-3000mm

　　多層結(jié)構(gòu)：通常由內(nèi)膽、隔熱屏和外罩組成

　　法蘭連接：采用特殊密封設(shè)計(jì)保證真空度

　　2.主要材質(zhì)

　　純鉬(99.95%)，1800℃性價(jià)比高，加工性好常規(guī)真空熱處理

　　鉬鑭合金(Mo-La)，2000℃抗蠕變性強(qiáng)長(zhǎng)期高溫工作

　　TZM合金(Mo-0.5Ti-0.1Zr)，2200℃高溫強(qiáng)度高極端高溫環(huán)境

　　制造工藝

　　板材成型工藝：

　　鉬板剪切→滾圓→焊接（電子束焊）

　　焊縫探傷（X射線或超聲波）

　　精密機(jī)加工（車(chē)削、鉆孔）

　　表面處理技術(shù)：

　　電解拋光（Ra≤0.8μm）

　　高溫退火（消除應(yīng)力）

　　特殊涂層（如SiC抗氧化涂層）

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　1.高端材料熱處理

　　航空航天合金（鎳基、鈦基）

　　硬質(zhì)合金燒結(jié)

　　陶瓷材料高溫處理

　　2.半導(dǎo)體工業(yè)

　　硅片退火

　　化合物半導(dǎo)體制備

　　光伏材料處理

　　3.科研領(lǐng)域

　　新材料開(kāi)發(fā)

　　超高溫實(shí)驗(yàn)

　　真空冶金研究